DIPARTIMENTO DI FISICA DELLA MATERIA E INGEGNERIA ELETTRONICA


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Microanalisi

LABORATORI > Sezione Fisica della Materia

Responsabile: Prof. Fortunato Neri
Ricercatori:
Prof. Fortunato Neri
Dr. Francesco Barreca (ANM Research s.r.l.)
Ing. Salvatore Spadaro (ANM Research s.r.l.)
Dr. Enza Fazio


AttivitÓ di ricerca

Diagnostica chimico-fisica, morfologico strutturale ed elettrica, su scala micro e nanometrica di superfici solide e di strutture a film sottili multistrato. Mediante tecniche di spettroscopia di fotoemissione a raggi X (XPS), si analizzano la mappatura composizionale superficiale su scala micrometrica e gli effetti dovuti al sovrapporsi di strati di materiali diversi, attraverso l'analisi del profilo di profonditÓ. Recentemente Ŕ stato affrontato lo studio delle proprietÓ composizionali e strutturali di film sottili di SRO (Rich Oxide) e di silicio ossi-nitrurato per applicazioni ai dispositivi MOSFET di potenza ed ai convertitori fotovoltaici a film sottile.

Attrezzature
Sistema K-Alpha Thermo Scientific

Microanalisi, imaging, e depth profiling mediante XPS monocromatica con capacitÓ di gestione e analisi totalmente automatizzata, elevata resa (decine di analisi/giorno), controllo visuale del posizionamento per la microanalisi, cannone a ioni argon per la rimozione di strati superficiali, cannone elettronico per la riduzione di effetti di caricamento elettrico di materiali isolanti, software e librerie per il riconoscimento automatico della composizione chimica.

Sistema per misure di trasporto elettrico

Setup automatizzato per misure di conducibilitÓ elettrica dc in funzione della temperatura (100-550K) mediante il metodo volt-amperometrico a tensione e/o corrente costante. Il sistema Ŕ dotato di un criostato raffreddato ad azoto liquido (LN) con finestre ottiche, per misure di fotoconducibilitÓ.

Profilometro KLA-Tencor Alpha Step 500

Misure di profilometria e rugositÓ su superfici mediante scansione a stilo con risoluzione laterale di circa 10 micron e verticale fino a 10 ┼.

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